オイルフリー真空ポンプ・ドライ真空ポンプ
オイルフリー真空ポンプ
KCPHシリーズ
(スクロールタイプ)
| 真空度 | 0～101.2kPa以上 |
|---|---|
| モータ出力 | 1.5kW～3.0kW |
| 流量 | 0～59.3m3/h |
KCPシリーズ
(クロータイプ)
| 真空度 | 0～94kPa以上 |
|---|---|
| モータ出力 | 2.2~5.5kW |
| 流量 | 0～308m3/h |
KCEシリーズ
(クロータイプ/空冷式)
インバータ内蔵
| 真空度 | 0～94kPa以上 |
|---|---|
| モータ出力 | 2.2～11kW |
| 流量 | 0～616m3/h |
KCEシリーズ
(クロータイプ/水冷式)
インバータ内蔵
| 真空度 | 40～94kPa以上 |
|---|---|
| モータ出力 | 11･22kW |
| 流量 | 0～1190m3/h |
KCM310
(クロータイプ)
モジュール対応・インバータ内蔵
| 真空度 | 0～100kPa以上 |
|---|---|
| モータ出力 | 5.5kW |
| 流量 | 0～308m3/h |
KCM620
(クロータイプ)
モジュール対応・インバータ内蔵
| 真空度 | 0～100kPa以上 |
|---|---|
| モータ出力 | 11～275kW |
| 流量 | 0～15400m3/h |
KCP100(ルーツタイプ)
KCP150(クロータイプ)
コンビネーションポンプ
1シリンダ仕様
| 真空度 | 0～60kPa以下 |
|---|---|
| 圧力 | 0～70kPa以下 |
| モータ出力 | 5.5kW |
| 流量 | 0～192m3/h |
KCP150(クロータイプ)
KCE190(クロータイプ)
コンビネーションポンプ
2シリンダ仕様・インバータ内蔵
| 真空度 | 0～94kPa以上 |
|---|---|
| 圧力 | 0～100kPa以下 |
| モータ出力 | 7.4～9.2kW |
| 流量 | 0～192m3/h |
KCPLシリーズ
(2段式サイドチャネルタイプ)
| 真空度 | 0～44kPa |
|---|---|
| モータ出力 | 3.0～4.8kW |
| 流量 | 0～305m3/h |
ドライ真空ポンプ（ベーンタイプ）
小型ドライポンプ
KM41A
| 常用真空度 | 55kPa以下 |
|---|---|
| モータ出力 | 0.06kW |
| 流量 | 29L/min(60Hz) |
ドライポンプ
KRF小型シリーズ
| 常用真空度 | 最高75kPa |
|---|---|
| 常用排気圧力 | 最高70kPa |
| モータ出力 | 0.1～0.2kW |
| 流量 | 75～155L/min (60Hz) |
ドライポンプ
KRF標準シリーズ
| 常用真空度 | 最高80kPa |
|---|---|
| 常用排気圧力 | 最高70kPa |
| モータ出力 | 0.4～1.5kW |
| 流量 | 280～685L/min (60Hz) |
ドライポンプ
KRF大型シリーズ
| 常用真空度 | 80kPa以下 |
|---|---|
| 常用排気圧力 | 80kPa以下 |
| モータ出力 | 2.2～3.7kW |
| 流量 | 1350～2200L/min (60Hz) |
高真空ドライポンプ
KHAシリーズ
| 到達圧力 | 8kPa[abs]以下 |
|---|---|
| モータ出力 | 0.1～0.75kW |
| 流量 | 65～400L/min (60Hz) |
高真空ドライポンプ
KHH251
| 到達圧力 | 1.3kPa[abs]以下 |
|---|---|
| モータ出力 | 0.25kW |
| 流量 | 179L/min(60Hz) |
モータ直結型
高真空ドライポンプ
KHFシリーズ
| 到達圧力 | 8kPa[abs]以下 |
|---|---|
| 常用圧力 | 到達圧力～大気圧力 |
| モータ出力 | 0.2～0.75kW |
| 流量 | 150～400L/min (60Hz) |
コンビネーション型ドライポンプ
CBFシリーズ
| 常用真空度 | 60kPa以下 |
|---|---|
| 常用排気圧力 | 60kPa以下 |
| モータ出力 | 0.75～2.2kW |
| 流量 | 280～685L/min (60Hz) |
コンビネーション型ドライポンプ
CBXシリーズ
| 常用真空度 | 60kPa以下 |
|---|---|
| 常用排気圧力 | 60kPa以下 |
| モータ出力 | 3.7kW |
| 流量 | 1115L/min (60Hz) |
コンビネーション
パッケージ型ドライポンプ
CBXPシリーズ
| 常用真空度 | 60kPa以下 |
|---|---|
| 常用排気圧力 | 80kPa以下 |
| モータ出力 | 5.5～7.5kW |
| 流量 | 1115～2200L/min (60Hz) |
サイレントボックス
KCSシリーズ
より静けさを追求
防音性・機能性を充実