納入事例・用途事例
水槽内蔵チラーの納入事例・用途事例
ファイバーレーザ

ダイオードレーザの発振部および光学系の冷却
MRI

ヘリウム冷凍機冷却および傾斜磁場コイルの冷却
露光装置

露光ステージ(クールプレート)に ±0.1℃ の恒温水を供給
高周波誘導加熱装置

加熱コイルの冷却および高周波電源の冷却
プラズマ溶接機

電源、溶接トーチの冷却
ICP 分析装置

試験溶液等の冷却を効率よく行います
濃縮装置

エバポレータの冷却
分析装置

分析ステージの冷却
X 線検査装置

X 線管の冷却
YAG 溶接機

レーザ発振器の冷却
UV レーザ印刷機

レーザ光源の冷却
成形機

金型、ホッパーの冷却
印刷機(DI)

UV ランプ冷却およびインク乾燥冷却ステージの冷却、インク温調に使用
枚葉印刷機

各ローラーの冷却
粉砕機

ジャケット冷却
ミキサー

ジャケットの冷却
スポット溶接機

電極、電源の冷却
アーク溶接機

電源、トーチの冷却
真空蒸着装置

チャンバの冷却
包装機

ヒートシール後の冷却
実験用炉体

加熱炉の冷却
このような場合もチラーをご検討ください。
オリオンチラーで冷却水を安定供給できます。
水道水使用

冷却塔設備(クーリングタワー)がなく水道水等の流水を使用している。
クーリングタワー使用

冷却塔設備はあるが冷却水の温度が安定せず、装置のパフォーマンスが発揮出来ていない。
その他にもさまざまな用途がございます
- エアスピンドル
- 振動試験装置
- 包装機冷却
- 各種試験装置の冷却
- 各種分析装置の冷却
- 着磁機の冷却
- 金型温調
- ウォータージェット
- エンジン試験装置
- 電解バリ取り機
- ベニヤウェルダー
- リフロー炉
ユニットクーラー(水槽なし)の納入事例・用途事例
工業関係

- 押出成形機冷却水槽の温度管理
- 工作機械水槽水の冷却
- コンクリートの練り水
食品関係

- 真空パック後の冷却
- 缶詰の冷却
- 寸胴の冷却
- 食品に直接触れる水の冷却には対応していません。
農事関係

- 水耕栽培の液肥温度管理
- しいたけホダ木の浸水用水槽冷却
その他

- 各種開放された水槽水の冷却
プレシジョンチラー・ペルサーモの納入事例・用途事例
露光装置(ステッパー)
露光装置では数十nm~数百nmという微細な電極パターンをシリコンやガラス基板上に書き込むために、空気温度、冷却ステージ温度ともに高制御温度が要求されます。
適用製品:PEC、ETU

液晶ガラス基板
液晶製造工程において、ガラス基板自他の温度変化による伸縮を回避するために、空気温度、冷却ステージ温度共に温度管理が要求されます。
適用製品:PEC、ETU

クロマトグラフ・X 線分析機
クロマトグラフは試料中の各成分の含有量を測定する機器であり、測定機器は PPM オーダーから PPQ レベルにまで及び、高レベルの温度管理が要求されます。
適用製品:PEC、ETU

電子顕微鏡
電子顕微鏡の分解能は 0.1nm 程度になり、各パーツにおいて一定の温度管理が必要です。より信頼性の高い分析結果を得るために、高精度な温度管理が要求されます。
適用製品:PEC、ETU

コータ・ディベロッパ
コータ・ディベロッパは、半導体製造工程においてウェハを成形するための重要な工程になります。フォトリソグラフィ工程、現像工程では高精度な温度管理が要求されます。
適用製品:PEC、ETU
