薬液用温調装置
ケミカルペルサーモ（水冷）
ウェットプロセスに欠かせない薬液をダイレクトに高精度に温調可能
ETD、ETNシリーズ
〔電源ユニット〕
ETD232-SA-A-G2 / ETD452-SA-G2
ETD832-SA-G2
〔冷熱ユニット〕
ETN23A-N / ETN45A-N / ETN90A-N
- 電源ユニットと冷熱ユニットで1セットとなります。
- 冷却能力
- 約280～920W
- 制御精度
- ±0.1℃
- 温度制御範囲
- 15～50℃
- 0.3MPa の耐水圧構造
- 制御用温度センターを冷熱ユニットに内蔵可
（特注対応） - 接続用ケーブルの延長ケーブルあり
（オプション対応）
仕様
仕様表(冷熱ユニット)
| ETN23A-N | ETN45A-N | ETN90A-N | |||
|---|---|---|---|---|---|
| 適用流体※1 | DIW/DHF/BHF/FPM/SC1 | ||||
| 性能 | 温度制御範囲 | ℃ | 15～50(50以上についてはご相談ください) | ||
| 制御精度 | ℃ | ±0.1(条件によって異なる) | |||
| 冷却能力/加熱能力※2 | W | 約280/約600 | 約460/約1,000 | 約920/約2,000 | |
| 放熱(冷却)方式 | 水冷式 | ||||
| 制御用温度センサ | Ω | Pt100(JIS0.2級)テフロンモールド(オプション) | |||
| 機内圧力損失(薬液側) | MPa | 0.01以下(流量15L/min) | 0.02 (流量15L/min時) |
||
| 機内耐圧(薬液側) | MPa | 0.3 | |||
| 使用周囲温度範囲 | ℃ | 15～35 | |||
| 薬液側出口・入口接続部 | 3/4”×5/8”×L150(New PFA) | ||||
| 放熱水 | 水量 | L/min | 5～7 | ||
| 接続口 | 3/8”×1/4”×L150(PFA) | ||||
| 熱交換接液部材質 | 薬液側 | PTFE, New PFA | |||
| 冷却水側 | グラファイト, PPE, SUS316, PFA, NBR | SUS304, 316, PFA | |||
| 外装 | 硬質PVC | ||||
| 質量 | kg | 約10 | 約14 | 約28.5 | |
| 外形寸法(高さ×奥行×幅) | mm | 220×330×147 | 260×530×145 | ||
- 濃度及び記載以外の薬液についてはご相談ください。(濃度によっては使用できない場合もございます。)
- 設定温度25℃、冷却水25℃、冷却水量 5 ～ 7L/min、周囲温度 25℃時
仕様表(電源ユニット)
| ETD232-SA-A-G2 | ETD452-SA-G2 | ETD832-SA-G2 | ||
|---|---|---|---|---|
| 入力電流(AC208V)時 | A | 最大約4.5 | 最大約9 | 最大約17 |
| 電源 | V(Hz) | 単相200～240(50/60) | ||
| 制御方式 | PID制御 オートチューニング | |||
| 質量 | kg | 約5.0 | 約10 | 約18 |
| 外形寸法(高さ×奥行×幅) | mm | 165×430×140 | 215×460×165 | 305×470×2408 |
外形図
