薬液用温調装置
ケミカルペルサーモ(水冷)
ウェットプロセスに欠かせない薬液をダイレクトに高精度に温調可能

ETD、ETNシリーズ
〔電源ユニット〕
ETN23A-N / ETN45A-N / ETN90A-N /
〔冷熱ユニット〕
ETD232-SA-A-G2 / ETD452-SA-G2 /
ETD832-SA-G2

  • 電源ユニットと冷熱ユニットで1セットとなります。
冷却能力
約280~920W
制御精度
±0.1℃
温度制御範囲
15~50℃
  • 0.3MPa の耐水圧構造
  • 制御用温度センターを冷熱ユニットに内蔵可
    (特注対応)
  • 接続用ケーブルの延長ケーブルあり
    (オプション対応)
ETN